X-Ray ๊ดํ
X-ray ๋ชจ์ธ๊ด ๊ดํ ์ธก์ ๊ธฐ๋ X-ray๋ฅผ ์ ๋ํ๊ณ ํ์ฑํ๋ ๋ฐ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค. ์ด๋ฌํ ์์คํ ์ ์ํตํ, ํ์ํ ๋๋ ํ๋ผ๋ณผ๋ก์ด๋ ๋ชจ์ธํ๊ด ๋๋ ๋ค์ํ ๋ชจ์ธํ๊ด๊ณผ ๊ฐ์ ๋จ์ผ ๋ชจ์ธํ๊ด ๋๋ ๋ค์์ ์ค๊ณต ๋ชจ์ธํ๊ด ์ฑ๋์ ๋จ์ผ ์์คํ ์ผ๋ก ๊ตฌ์ฑ๋ฉ๋๋ค. ์ด ๊ธฐ๋ฅ์ ๋ชจ์ธ๊ด ์ฑ๋์ ๋ด๋ถ ๋งค๋๋ฌ์ด ํ๋ฉด์์ X-ray๊ฐ ์์ ํ ์ธ๋ถ๋ก ๋ฐ์ฌ๋๋ ํจ๊ณผ๋ฅผ ๊ธฐ๋ฐ์ผ๋ก ํฉ๋๋ค. ์ด ๋ฐ์ฌ๊ฐ์ ์๊ณ ๊ฐ๋๋ณด๋ค ๋ฎ์ ์ ์ฌ๊ฐ์ ๊ฒฝ์ฐ ๋ฐ์ฌ ๊ณ์๋ ๊ฑฐ์ 100%์ ๊ฐ๊น์ด ๊ฐ์ ๋๋ฌํ๊ณ X-๋ฐฉ์ฌ์ ์ ๊ดํ ์ฅ๋น๋ฅผ ํตํด ๋ฎ์ ์์ค๋ก ์ ๋๋ฉ๋๋ค. ์๊ณ ๊ฐ๋๋ ์ฃผ๋ก ๋ฐ์ฌ ๋ฌผ์ง ๋ฐ X-ray ๊ด์ ์๋์ง์ ๋ฐ๋ผ ๋ฌ๋ผ์ง๋๋ค. X-ray ๋ชจ์ธํ๊ด์ ๊ธฐ๋ณธ ์ฌ๋ฃ๋ ์ ๋ฆฌ์ ๋๋ค. ๋ฐ์ฌ ์ ๋ฆฌ ํ๋ฉด์ ๋ฎ์ ๊ฑฐ์น ๊ธฐ๋ ์ฐ๋ฐ์ ์ธ X-ray์ ๋ฎ์ ๋ถํฌ๋ฅผ ์ ๋ํ๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ์ ๋ฆฌ ๋ชจ์ธํ๊ด์ ํตํ X-ray์ ํจ์จ์ ์ธ ์ด์ก์ด ๊ฐ๋ฅํฉ๋๋ค. ์ด๋ฌํ ํน์ฑ ๋๋ฌธ์ ๋์ ๊ฐ๋๊ฐ ์ํ ์ธก์ ์์น์ ์ ํํ๊ฒ ์ง์ค๋๋๋ก X-ray ์์ค๋ฅผ ์กฐ์ ํ ์ ์์ต๋๋ค.
X-ray ๊ดํ ์ธก์ ๊ธฐ๋ ๋ด๋ถ ๋ชจ์ธ๊ด ํ๋ฉด์ผ๋ก๋ถํฐ์ ๋ฐ์ฌ ํ์์ ์ํด ๊ตฌ๋ณ ๋ ์์์ต๋๋ค. ๋จ์ผ ๋ฐ์ด์ค ๋ฐ ๋ค์ค ๋ฐ์ด์ค ๋ชจ์ธ๊ด ์์คํ ์ด ์์ต๋๋ค.
๋๋ถ๋ถ ๊ตฌ๋ถ๋ฌ์ง ์ค๊ณต ๋ชจ์ธ๊ด ์ฑ๋๋ก ๊ตฌ์ฑ๋ ๋จ์ผ ์์คํ ์ X-ray ๋ค์ค ๋ชจ์ธ๊ด ๊ดํ(polycapillary optic)์ด๋ผ๊ณ ํฉ๋๋ค. ์ด๊ฒ์ ๋ค์ค ๋ฐ์ด์ค ๋ชจ์ธ๊ด ์์คํ ์ ๋๋ค. ๊ทธ๊ฒ์ ๋ฎ์ ๊ฐ๋ ์์ค๊ณผ ํจ๊ป X-ray ์ ์์์ ์ผ์ ํ ๊ฑฐ๋ฆฌ์ ์๋ ์์ญ์ผ๋ก ๋ฐฉ์ฌ์ ์ ์ด๋ฐํ ์ ์์ต๋๋ค. ๊ทธ๋์ ๋งค์ฐ ๋์ ๋น ๊ฐ๋๊ฐ ์ธก์ ์ด์ ์ ์ง์ค๋ ์ ์์ต๋๋ค.
X-ray ๋ชจ์ธ๊ด ๊ดํ์ X-ray ํ๊ด ๋ถ์ (XRF, ยตXRF, 3D-ยตXRF), X-ray ํ์ (XRD, ยตXRD), ์๊ฐ ๋ถํด XRF ๋ฐ XRD, ํ์ฅ ๋ถ์ฐ X-ray๊ณผ ๊ฐ์ ๋ง์ ์์ฉ ๋ถ์ผ์ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค. ๋ถ๊ดํ (WDX), ์ ์ ํ๋ฏธ๊ฒฝ (EM) ๋ฐ X-ray ํ๋ฏธ๊ฒฝ. ๊ดํ ๊ธฐํ์ ์ฌ์์ ๋ํ ํ์ ์ธ๋ถ ์ฌํญ์ ํจ์จ์ ์ผ๋ก ์๋ด๋์ด์ผํ๋ X-ray ์์ค์ ํน์ฑ, ํ์ํ ๋น ํ์ฑ, ์ด์ ์ง๊ฒฝ ๋ฐ ๊ด์์ ์๋์ง ๋ฒ์์ ๋๋ค. VDI / VDE ์ง์นจ 5575์๋ ๋ชจ๋ ์ ํ์ X-ray ๊ดํ ์ฅ๋น๊ฐ ํฌํจ๋์ด ์์ต๋๋ค. ๋ชจ์ธ๊ด ๊ดํ ๋ฐ ์ฃผ์ ํน์ฑ. ๊ดํ ์ ํ์ ๋ํ ์์ธํ ๋ด์ฉ์ ์น ํ์ด์ง๋ฅผ ์ฐธ์กฐํ์ธ์.