광학장비

X-ray의 빔 형성을 위한 고정밀 캐필러리 광학 장비 개발 및 제조는 Helmut Fischer GmbH의 기술적 핵심 역량입니다. 이 구성 요소는 Fischer의 초소형 샘플 측정을 위한 최신 마이크로 빔 X-ray 형광 장비의 기본입니다.

매우 얇은 코팅의 측정 및 복잡한 다층 시스템의 분석:

• 실리콘 웨이퍼 및 PCB의 코팅
• 솔더 범프의 Ag 함량 측정
• SMD 구성요소
• 플러그인 접촉부/li>
• 리드프레임
• 마이크로스케일 원소 및 레이어 두께 매핑

X-선 빔 집약을 위한 고정밀 캐필러리의 개발 및 제조는 당사의 핵심 기술 역량 중 하나입니다. 이러한 구성 요소 덕분에 Helmut Fischer의 XRF 기기는 가장 작은 구성 요소와 미세 구조를 측정할 수 있습니다. 전 세계적으로 단 2개의 제조업체 중 하나로서 헬무트피셔는 혁신과 최고의 측정 정밀도를 보장합니다.

고휘도 마이크로포커스 소스와 효율적인 에너지 분산 디텍터의 사용 외에도 폴리캐필러리의 적용은 XRF 분광기의 최적 측정 성능을 위해 결정적입니다. 폴리캐필러리 렌즈는 매우 높은 강도로 작은 지점에 여기 빔을 집중시켜 측정 시간을 크게 단축시킵니다. 나노기술 및 마이크로일렉트로닉스 분야의 현대적 발전은 더 나은 공간 해상도에 대한 요구를 증가시키고 있습니다. 오랜 시간 동안 X-선 빔의 고에너지 영역에서 공간 분해능은 소위 후광 효과에 의해 흐려졌습니다. 이 효과는 시료 표면의 측정 지점의 측면 분해능을 크게 저하시켜 정량적 재료 분석에서 잘못된 구성 결정을 일으켰습니다. 다년간의 경험과 효과적인 개발 작업 덕분에 우리는 후광 효과를 줄일 수 있었을 뿐만 아니라 후광이 없는 폴리캐필러리를 생산할 수 있었습니다.

Helmut Fischer에서는 광범위한 응용 분야에 최적화된 폴리캐필러리 개발에 대한 거의 30년의 노하우를 활용할 수 있습니다. 광학은 유리 캐필러리의 매끄러운 내부 표면에 대한 외부 전반사 효과를 기반으로 합니다. 전반사의 임계각은 X선 빔의 에너지, 반사 물질의 밀도 및 반사 표면의 거칠기에 따라 달라집니다. 유리는 조도가 매우 낮기 때문에 X-선 캐필러리 제조에 효율적인 재료입니다. 캐필러리의 내부 표면의 반사 횟수가 다릅니다. Fischer 포트폴리오에는 원통형, 타원형 또는 포물선 모양의 모노캐필러리와 다양한 폴리캐필러리 같은 특정 디자인이 있습니다. 캐필러리가 사용되는 다양한 X-선 분석 방법에 대한 개요가 표에 나와 있습니다.

타원형 또는 포물선 모양의 모노캐필러리는 고유한 전반사를 통한 이미징 광학 부품입니다. 타원형 캐필러리의 초점 크기는 소스의 크기와 모양과 캐필러리의 제조 정확도에 의해 결정됩니다. 포물선 모양의 캐필러리는 평행 광선을 초점에 집중시키거나 점 광원의 발산 광선을 평행하게 합니다. 싱크로트론 빔은 최대 250nm의 매우 작은 지점에 초점을 맞춥니다.