๋ชจ์ธ๊ด ๊ดํ ์ค์์ ๊ฐ์ฅ ๊ฐ๋จํ ํ์ ์ X-ray ๊ฐ์ด๋๋ก ์ํตํ ๋ชจ๋ ธ์บํ๋ฌ๋ฆฌ์ ๋๋ค. X-ray ๋น์ ์ฝ๋ฆฌ๋ฉ์ดํธ(Collimates)์ ๋จ์ผ ๋ชจ์ธ๊ด์ ์ถ๊ตฌ์์ ๋ฐ์ฐ ๊ฐ๋๋ฅผ ์ ์ฒด ๋ฐ์ฌ์ ์๊ณ ๊ฐ๋๋ก ์ ํํฉ๋๋ค. ํํ๊ณผ ๋น๊ตํ๋ฉด X-ray ๊ฐ์ด๋๋ ์ํ ํ๋ฉด์ ๊ฐ๋๋ฅผ ์๋นํ ํฅ์์ํต๋๋ค. X-ray ๊ฐ์ด๋๋ ์ ์ฉ์ ๋ฐ๋ผ ๋ชจ์ธ๊ด ์ง๋ฆ๊ณผ ๋ชจ์ธ๊ด ๊ธธ์ด๋ก ์ ์กฐ๋ฉ๋๋ค. ๋ํ ์ ๋ ฌ๋ ํํ์ ์ฅ์ฐฉํ ์ ์์ต๋๋ค.
์์ค โ ์ ๊ตฌ ๊ฑฐ๋ฆฌ f1 [mm] | > 10 |
๋ชจ์ธ๊ด ์ง๊ฒฝ d1 * [ยตm] | 10 ... 1000 |
๊ธธ์ด l ** [mm] | 94, 135, 165, 173, 191, 210, 230 |
์๋์ง ๋ฒ์ [keV] | 1 ... 30 |
์ต์ ์ ์์ค ํฌ๊ธฐ [mm] | 0.02 ... 1.0 |
ํ์ฐ์ง ์ง๊ฒฝ dmax *** [mm] | 7, 10, 16 |
๊ฐ๋ ์ฆ๊ฐ | 3 ... 10 |