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์ดˆ์  ๊ฑฐ๋ฆฌ f [mm]> 10

์ž…๊ตฌ ์ง๊ฒฝ D1 [ยตm] 50 ... 3000

์ถœ๊ตฌ ์ง๊ฒฝ D2 [ยตm] 50 ... 2000

๊ธธ์ด L [mm]> 20

์—๋„ˆ์ง€ ๋ฒ”์œ„ [keV] XUV-30

์ตœ์ ์˜ ์†Œ์Šค ํฌ๊ธฐ [ยตm]>

์ดˆ์  ํฌ๊ธฐ [ยตm]> 10

ํ•˜์šฐ์ง• ์ง๊ฒฝ [mm]> 7

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