ํ์ํ X-ray ๋ชจ๋ ธ์บํ๋ฌ๋ฆฌ๋ ์ด๋ฏธ์ง ๋จ์ผ ๋ฐ์ด์ค ๊ดํ ์์คํ ์ ์ํฉ๋๋ค. ์คํ ํฌ๊ธฐ๋ ์ด๋ฏธ์ง ๊ดํ์ ์ ์กฐ ์ ํ๋ (์ : ๊ฒฝ์ฌ ์ค์ฐจ, ์ง ์ง๋ ๋ฑ) ๋ฐ ์์ค์ ํน์ฑ์ ์ํฅ์๋ฐ์ต๋๋ค. ํ์์ฒด์ ์ฃผ์ ๋งค๊ฐ ๋ณ์๋ ํน์ ์ ํ๋ฆฌ์ผ์ด์ ์ ๋ฐ๋ผ ์ต์ ํ ๋์ด์ผ ํฉ๋๋ค. ๋ฐ์ฌ๊ฐ์ด ์๊ณ๊ฐ๋ณด๋ค ๋ฎ์์ผํ๋ฏ๋ก ํ์์ฒด์ ๋ช ํํ ๋ถ๋ถ๋ง ์ด์ ์ ๋ง์ถ๊ธฐ ์ํด ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค. ์ด๋ฏธ์ง ํ๋๋ฅผ ์ํด ์ด ๋ถ๋ถ์ ์์ค๊ฐ ์์นํ ์ฒซ ๋ฒ์งธ ์ด์ ๊ณผ ํ์์ฒด์ ์ต๋ ์ง๊ฒฝ ์ฌ์ด์ ๋์ ๋๋ค. ์ด๋ฏธ์ง ์ถ์๋ฅผ ์ํด ํ์์ฒด์ ๋ฐ์ฌ ๋ถ๋ถ์ด ์ต๋ ์ง๊ฒฝ ๋ค์ ๋์ ๋๋ค.
์์ค-์ด์ ๊ฑฐ๋ฆฌ 2a [mm] | 250 ... 15000 |
์์ค-์ ๊ตฌ ๊ฑฐ๋ฆฌ f1 [mm] | > 10 |
์ข ๋ฃ-์ด์ ๊ฑฐ๋ฆฌ f2 [mm] | > 1 |
์ต๋ ์ง๊ฒฝ (2b) dmax [ยตm] | 50 ... 3000 |
์ ๊ตฌ ์ง๊ฒฝ D1 [ยตm] | 50 ... 2000 |
์ถ๊ตฌ ์ง๊ฒฝ D2 [ยตm] | 50 ... 2000 |
๊ธธ์ด L [mm] | > 20 |
์๋์ง ๋ฒ์ [keV] | XUV ... 30 |
์ต์ ์ ์์ค ํฌ๊ธฐ [ยตm] | |
์ด์ ํฌ๊ธฐ [ยตm] | > 10 |
ํ์ฐ์ง ์ง๊ฒฝ D ํ์ฐ์ง [mm] | > 7 |
๊ฐ๋ ์ฆ๊ฐ | > 50 |