FISCHERSCOPE X-RAY XDAL
汎用性の高い蛍光X線式膜厚測定・素材分析器
FISCHERSCOPE® X-RAY XDAL®は、薄膜、微小構造や金属メッキを測定に適した測定器です。また、切替可能なコリメーターと一時フィルターを搭載しています。
測定対象が複雑であるほど、検出器の選択は重要な要素となります。FISCHERSCOPE X-RAY XDALは、3種類の半導体検出器から選択できます。
シリコンPINダイオードの検出器により、比較的大きな測定エリアにおける多層膜測定に適しています。CrNやTiNなどの硬質材料皮膜の分析などにも使用されます。
シリコン・ドリフト検出器（SDD）は、シリコンPINダイオードよりも高分解能を有する検出器です。電子部品産業や半導体産業における機能膜の測定などに適しています。また、薄い合金層または金とプラチナなどといった近似する元素の分析にも適しています。ENIGやENEPIGといったアプリケーションにおいて信頼性の高い品質管理ができます。
Fischerでは、より大きい面積のシリコン・ドリフト検出器（SDD）を搭載した測定器も提供しています。ナノメートル領域の薄膜の測定にも適しています。これらのXDAL測定器により、高い信頼性を必要とするスズウィスカー防止のためのはんだの鉛含有量を分析できます。
