
XRF分析におけるポリキャピラリーレンズの重要性
マイクロフォーカス管や高効率な検出器に加えて、ポリキャピラリーレンズの採用は、XRF測定器において最適な測定性能を実現する上で大変重要な要素となります。ポリキャピラリーレンズは、非常に高強度で小さなスポットに励起ビームを集中させるため、測定時間を大幅に短縮することができます。ナノテクノロジーやマイクロエレクトロニクスの分野では、これまで以上に高い分解能が求められています。長い間、X線ビームの高エネルギーの分解能は、いわゆるハロー効果によってぼんやりとしていました。この効果は、試料表面の測定スポットの分解能を著しく低下させ、定量的な材料分析において誤った組成分析を引き起こす要因となっていました。当社の長年の経験と開発力により、ハロー効果を低減させることができただけでなく、ハローフリーのポリキャピラリーレンズを製造することに成功しました。
蛍光X線向けの集束して照射するキャピラリーレンズ
Helmut Fischer社では、約30年近くにわたり、様々な用途に最適なポリキャピラリーの開発をしてまいりました。この光学系には、ガラスキャピラリーの滑らかな表面による反射効果に基づいています。その反射角は、X線ビームのエネルギー、反射材の密度、反射する表面粗さに依存します。ガラスは、表面粗さが非常に小さいため、蛍光X線用キャピラリーレンズに非常に効率的な材料です。キャピラリーレンズは、反射する内面の数で異なります。当社ポートフォリオには、円筒形、楕円形、放物線形のモノキャピラリ―や、様々なポリキャピラリーがあります。様々な蛍光X線のキャピラリーレンズの概要を表に示します:
ポリキャピラリーレンズを搭載したフィッシャー製のXRF測定器
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