FISCHERSCOPE X-RAY XDV-μ SEMI

Functies

Speciaal instrument voor geautomatiseerde metingen van dunne lagen en meerlagensystemen op wafers met een diameter van 6 tot 12 inch
Microfocusbuis Ultra met wolfraamanode voor nog betere prestaties op de kleinste meetpunten met µ-XRF; molybdeenanode optioneel
4-voudig verwisselbaar filter
Polycapillaire optiek maakt bijzonder kleine meetspots van 10 of 20 µm FWHM en optimale lokale resolutie mogelijk
Silicium drift detector 50 mm² voor maximale precisie op dunne lagen
Volledig geautomatiseerde waferhandling en -testen verhogen de efficiëntie
XRF-systeem met een uitstekende detectorgevoeligheid en een hoge resolutie
Automatische patroonherkenning geeft de te meten posities aan
Meerdere bedieningsmodi; handmatige meting mogelijk wanneer dat nodig is
Flexibel: dockingstation voor FOUP, SMIF en cassette, voor 6", 8" en 12" wafers
Digitale pulsprocessor DPP+. Nog kortere meettijden bij dezelfde standaardafwijking*
_{*Vergeleken met de DPP}

Toepassingen

Laagte diktemeting

Basismetallisatielagen (UBM) op nanometerschaal
Thin loodvrije soldeerdoppen op koperpijlers
Uiterlichte kleine contactoppervlakken en andere complexe 2.5D / 3D-verpakkingstoepassingen

Materiaalanalyse

C4 en kleinere soldeerbulten
Leervrije soldeerdoppen op koperen pilaren

Het geautomatiseerde XRF-systeem voor het inspecteren van wafermicrostructuren

Ontworpen voor kwaliteitscontrole in de halfgeleiderindustrie meet de FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ SEMI nauwkeurig microstructuren op wafers – volledig automatisch. De hele automatiseringsunit is omsloten en daardoor perfect geschikt voor gebruik in cleanrooms. FOUP- en SMIF-pods kunnen automatisch aan het meetsysteem worden gekoppeld. De handling en meting in de XDV-μ SEMI gebeuren volledig zonder handmatige tussenkomst. Dankzij patroonherkenning lokaliseert de X-RAY de opgegeven meetposities nauwkeurig en betrouwbaar. Dit automatische meetproces sluit schade en verontreiniging door handmatige handling uit en zorgt voor hoge doorvoersnelheden voor het inspecteren van waardevolle wafers.