FISCHERSCOPE X-RAY XDV-SDD
ํน์ง
- ISO 3497 ๋ฐ ASTM B 568์ ๋ฐ๋ผ ๋งค์ฐ ์์ ์ฝํ (< 0.05 ฮผm)์ ์๋ ์ธก์ ๊ณผ ๋ฏธ์ธ ์ฌ๋ฃ ๋ถ์์ ์ํ ํ๋ฆฌ๋ฏธ์ ๋ฒ์ฉ XRF ๋ถ์๊ธฐ
- ํ ์คํ ์๊ทน์ด ์๋ ๋ง์ดํฌ๋กํฌ์ปค์ค ํ๋ธ
- ์ต์ ํ๋ ์ธก์ ์กฐ๊ฑด์ ์ํ 4x ๊ฐ๋ณ ์กฐ๋ฆฌ๊ฐ
- ์ต์ ์ ์กฐ๊ฑด์ ์ํ 6x ๊ต์ฒด ๊ฐ๋ฅํ ํํฐ
- 50mmยฒ์ ๋งค์ฐ ๊ฐ๋ ฅํ SDD
- ๋ ๋์ ์นด์ดํธ ์๋, ์ธก์ ์๊ฐ ๊ฐ์ ๋๋ ์ธก์ ๊ฒฐ๊ณผ์ ๋ ๋์ ๋ฐ๋ณต์ฑ์ ์ํ ๋์งํธ ํ์ค ํ๋ก์ธ์ DPP+
- Al(13)์์ U(92)๊น์ง์ ์์ ๋ถ์
- ์ต๋ 14cm์ ์ํ ๋์ด
- ์์ ๊ตฌ์กฐ๋ฌผ์ ์๋ ์ธก์ ์ ์ํด < 5 ยตm์ ์์น ์ ํ๋๋ฅผ ๊ฐ์ง ๊ณ ์ ๋ฐ, ํ๋ก๊ทธ๋๋ฐ ๊ฐ๋ฅํ XY ์คํ ์ด์ง
- ์ธก์ ๊ฑฐ๋ฆฌ์ ๊ฐํธํ๊ณ ๋น ๋ฅธ ์กฐ์ ์ ์ํ DCM ๋ฐฉ์
- ํํ ๋ฐฉ์ฌ์ ๋ณดํธ๋ฒ์ ๋ฐ๋ฅธ ํ์ ์น์ธ์ ๋ฐ์ ์์ ํ ๋ณดํธ๋ ๊ธฐ๊ธฐ
๋ํ์ ์ธ ์์ฉ ๋ถ์ผ
- ์ ์ ๋ฐ ๋ฐ๋์ฒด ์ฐ์ ์ ๊ธฐ๋ฅ์ฑ ์ฝํ ์ธก์ (์: 2 nm ์ดํ ๊ธ ์ฝํ ์ ์ฝํ ๋๊ป ์ธก์ )
- ์ ์ ๋ฐ ๋ฐ๋์ฒด ์ฐ์ ์ ์๊ณ ๋งค์ฐ ์์ ์ฝํ ๋ถ์, e. g. โค 0.1 ยตm์ ๊ธ/ํ๋ผ๋ ์ฝํ
- ๋ณต์กํ ๋ค์ธต ์์คํ ์ ๊ฒฐ์
- ๊ฒฝ์ง ์ฝํ ์ ์ธก์
- ํ์๊ด ์ฐ์ ์ ์ฝํ ๋๊ป ์ธก์
- RoHS, WEEE, CPSIA ๋ฐ ๊ธฐํ ์ ์ ์ ํ, ํฌ์ฅ ๋ฐ ์๋น์ฌ ์ง์นจ์ ๋ฐ๋ฅธ ๋ฉ ๋ฐ ์นด๋๋ฎด๊ณผ ๊ฐ์ ์ ํด ๋ฌผ์ง์ ๋ฏธ๋ ๋ถ์
- ๊ธ ๋ฐ ๊ธฐํ ๊ท๊ธ์ ๋ฐ ๊ทธ ํฉ๊ธ์ ๋ถ์ ๋ฐ ์ง์ ์ฌ๋ถ ํ ์คํธ
- ๊ธฐ๋ฅ์ฑ NiP ์ฝํ ์ ์ธ ํจ๋ ์ง์ ์ธก์
๊ณ ๊ธฐ๋ฅ ๋ง๋ฅ ์ ์
FISCHERSCOPEยฎ X-RAY XDVยฎ-SDD๋ Fischer ํฌํธํด๋ฆฌ์ค์์ ๊ฐ์ฅ ๊ฐ๋ ฅํ X์ ํ๊ด ๊ธฐ๊ธฐ ์ค ํ๋์ ๋๋ค. ์ด XRF ๋ถ๊ด๊ณ์๋ ์ ํจ ๋ฉด์ ์ด 50mmยฒ์ธ ๊ฐ๋ ฅํ ๊ณ ํด์๋ ์ค๋ฆฌ์ฝ ๋๋ฆฌํํธ ๊ฒ์ถ๊ธฐ(SDD)๊ฐ ์ฅ์ฐฉ๋์ด ์์ต๋๋ค. ์ด๋ฅผ ํตํด ๊ฐ์ฅ ์์ ์ธต๋ ์ ๋ฐํ๊ณ ๋นํ๊ดด์ ์ผ๋ก ์ธก์ ํ ์ ์์ต๋๋ค. g. ๋ฆฌ๋ ํ๋ ์์ ์ฝ 2nm ๋๊ป์ ๊ธ ์ฝํ .
์์ฒด ๊ฐ๋ฐํ ์๋ก์ด ๋์งํธ ํ์ค ํ๋ก์ธ์ DPP+์ ํจ๊ป ์ธก์ ์ฑ๋ฅ์ ์๋ก์ด ์์ค์ผ๋ก ๋์ผ ์ ์์ต๋๋ค. ์ด์ ๋ ๋์ ๊ณ์์จ์ ์ฒ๋ฆฌํ ์ ์์ผ๋ฏ๋ก ์ธก์ ์๊ฐ์ด ๋จ์ถ๋๊ฑฐ๋ ์ธก์ ๊ฒฐ๊ณผ์ ๋ฐ๋ณต์ฑ์ด ํฅ์๋ฉ๋๋ค. ๋์์ XDV-SDD๋ ๋นํ๊ดด ์ฌ๋ฃ ๋ถ์์ ์๋ฒฝํ๊ฒ ์ ํฉํฉ๋๋ค. ์๋ฅผ ๋ค์ด, ํ๋ผ์คํฑ์ ๋ฏธ๋ ๋ฉ์ ๋ํ ๊ฐ์ง ๊ฐ๋๋ ์ฝ 2ppm์ผ๋ก RoHS ๋๋ CPSIA์์ ์๊ตฌํ๋ ๊ฐ๋ณด๋ค ๋ช ๋ฐฐ๋ ๋ฎ์ต๋๋ค.
๊ฐ XRF ์ฝํ ๋๊ป ์ธก์ ์ ์ด์์ ์ธ ์กฐ๊ฑด์ ๋ง๋ค๊ธฐ ์ํด XDV-SDD์๋ ๋ณ๊ฒฝ ๊ฐ๋ฅํ ์์ค๊ธฐ ๋ฐ ๊ธฐ๋ณธ ํํฐ๊ฐ ์์ด ๊ณผํ์ ์์ค์์ ์์ ํ ์ ์์ต๋๋ค. ์ง๊ด์ ์ธ ์ปจํธ๋กค ํจ๋์ด ์๋ ๋งค์ฐ ๊ฒฌ๊ณ ํ ์ฅ์น๋ ์กฐ์ด์คํฑ๊ณผ ๋ฒํผ์ ํตํด ์ฝ๊ฒ ์๋ํ ์ ์์ผ๋ฉฐ ์ฐ์ ์ฉ ์๋ฆฌ์ฆ ํ ์คํธ๋ฅผ ์ํด ํน๋ณํ ์ค๊ณ๋์์ต๋๋ค. ์ ๋ฐํจ,
์ธ์ฆ ์ , ๋๋์ ์ํ ๋๋ ๋๊ท๋ชจ ํ ์คํธ ๋ถํ์ ๊ฒฝ์ฐ: ๋น ๋ฅด๊ณ ์์ ์ ์ผ๋ก ๊ธ ํจ๋์ ์ธก์ ํฉ๋๋ค.
์๋ก์ด FISCHERSCOPEยฎ X-RAY XDVยฎ-SDD๋ก ํฉ๊ธ ๋๋ ๊ท๊ธ์์ ๊ฐ์ฅ ๋ฏธ์ธํ ์ฐจ์ด๋ฅผ ํ์คํ๊ฒ ๊ฒ์ฌํ์ญ์์ค. ๊ธ๊ดด, ์ฃผํ ๋๋ ๋ณด์์ ๊ฐ์น์ ๋ํด ์ ๋ขฐํ ์ ์๋ ์ง์ ์ ํ ์ ์๋ ๊ธฐ๋ฐ์ผ๋ก ๋งค์ฐ ์ ํํ ๋ถ์์ ์ป์ต๋๋ค.