๊ฐ, ๊ฒฝ๊ธ์ ๋๋ ์๋ฃจ๋ฏธ๋ ๋ถํ์ ์ ๋จ, ํ์นญ ๋ฐ ์ฑํ์ ์ฌ์ฉ๋๋ ๊ณ ์ ๋ฐ ์ฐ์ ์ฉ ํฑ, ๋๋ฆด ๋ฐ ๋ค์ด๋ ๊ทน๋๋ก ๋ง๋ชจ๋ฉ๋๋ค. ์ข ์ข ๋งค์ฐ ๊ฐ ๋น์ผ ๋๊ตฌ์ ์๋น์ค ์๋ช ์ ๋๋ฆฌ๊ธฐ ์ํด PVD (๋ฌผ๋ฆฌ์ ๊ธฐ์ ์ฆ์ฐฉ) ๊ณต์ ์ ํตํด ๊ฒฝ์ง ์ฌ๋ฃ ์ฝํ ์ผ๋ก ์ฝํ ๋ฉ๋๋ค. PVD ์ธต์ ๋๊ป๋ ๋ด๊ตฌ์ฑ๊ณผ ๊ณต๊ตฌ์ ๊ธฐ๋ ์๋ช ์ ๊ฒฐ์ ํฉ๋๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ๊ณต๊ตฌ ๋ฐ ๋ค์ด ์ ์กฐ์ ์ฒด๋ ์ต์ ์ฝํ ๋๊ป๋ฅผ ๋ณด์ฅํด์ผํ๋ฉฐ ๊ณ ์ ๋ฐ ์ ์ด ์ธก์ ๊ธฐ์ ์ด ํ์ํฉ๋๋ค.
PVD ์ฝํ ์ ์ง๊ณต๋ก์์ ๊ณต์๋ฌผ ํ๋ฉด์ ๋ฌผ๋ฆฌ์ ์ผ๋ก ๋ฟ๋ ค์ง๋๋ค. ์ด๋ฅผ ์ํด ๋๊ตฌ๋ฅผ ์ฑ๋ฒ์ ์กฐ์ฌ์ค๋ฝ๊ฒ ์์ ๋ค์ ๋น์ฐ๊ณ ๊ฐ์ดํฉ๋๋ค. ๋ค์์ผ๋ก ์ ์ฒด ์ค์ ์ ์ด์จ (์ : ํฐํ๋ ๋๋ ํฌ๋กฌ)์ด ์์์ง๋๋ค. TiN, CrN, TiCN ๋ฑ๊ณผ ๊ฐ์ ์ง์ ์ธต๊ณผ ๊ฐ์ ๊ฐ์ค๋ฅผ ์ถ๊ฐํ๋ฉด ๊ณต๊ตฌ์ ๊ท ์ผํ๊ฒ ์ฆ์ฐฉ๋ฉ๋๋ค. ํผ๋์ค ๋ด์ ์ ๊ตํ ๊ณต์๋ฌผ ํ๋๋ ๋ ์ด์ด๊ฐ ๋๊ตฌ์ ์ ์ฒด ํ๋ฉด์ ๊ฐ๋ฅํ ํ ๊ณ ๋ฅด๊ฒ ์ฆ์ฐฉ๋๋๋กํฉ๋๋ค.
์ง๊ณต, ์จ๋, ์ด์จ ๋น ๊ฐ๋ ๋ฐ ์ง์ ์๊ฐ๊ณผ ๊ฐ์ ํน์ ๊ณต์ ๋งค๊ฐ ๋ณ์๋ ์ธต ์ฆ์ฐฉ ๊ณต์ ์ ๊ฒฐ์ ํ๊ณ ํ์ํ ๋๊ป๋ฅผ ์์ฑํฉ๋๋ค. ๋ชจ๋ ์ ํ์ ์ฝํ ๊ณผ ๋ง์ฐฌ๊ฐ์ง๋ก PVD ๊ณต์ ๋ ๋ฉด๋ฐํ ๋ชจ๋ํฐ๋งํ๊ณ PVD ์ฆ์ฐฉ ์ธต์ ๋๊ป๋ฅผ ์ธก์ ํด์ผํฉ๋๋ค. ํ์ค ํ๊ดด ํ ์คํธ ๋ฐฉ๋ฒ๊ณผ ํจ๊ป ๋นํ๊ดด X ์ ํ๊ด ๋ฐฉ๋ฒ (XRF)์ ์ด๋ฌํ ๋ชฉ์ ์ ๋ํด ํญ๋๊ฒ ์์ฉ๋๊ณ ์์ต๋๋ค. ๊ฒฌ๊ณ ํ ์ค๊ณ ๊ฐ๋ ์ FISCHERSCOPEยฎ X-RAY XDLM์ ๋ง์ดํฌ๋ก ์ด์ ํ๋ธ์ ๊ณ ๊ฐ๋ ๋น๊ณผ ์์ ์กฐ๋ฆฌ๊ฐ ๋ฐ ํฐ ๊ฒ์ถ๊ธฐ ์ฐฝ์ ๊ฒฐํฉํ๋ฏ๋ก ์ด๋ฌํ ์๊ตฌ ์ฌํญ์ ์ต์ ํ๋์ด ์์ต๋๋ค. ์ด ์ฅ์น์ ๋๋๋ฌ์ง ์ฅ์ ์ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ต๋๋ค. </ p>
- ์ํ์ ์์์ด ์๋ ๋นํ๊ดด ์ธก์
- ๋น ๋ฅธ ์ธก์ ์๊ฐ
- ์ต์ํ์ ์ธก์ ๋ฉด์ : 100 ยตm
์ด ๋ชฉ์ ์์ํ ๊ณ์ธก๊ธฐ์ ์ ๋ฌธํ๋ ๋งค์ฐ ๊ณ ๊ธ ๋๊ตฌ์ ๊ฐ์ฅ ๋ฏธ์ธํ ์ ์ญ ๋ ์์๋ ๋ ์ด์ด ๋๊ป๋ฅผ ์ ํํ๊ฒ ์ธก์ ํ ์ ์์์ ์๋ฏธํฉ๋๋ค. ๋ํ ๋์ผํ ๊ธฐ๊ธฐ๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ฌ ๊ธฐ๋ณธ ๋๊ตฌ์ ์ ํํ ๊ธ์ ๊ตฌ์ฑ์ ๊ฒฐ์ ํ ์ ์์ต๋๋ค. ์๋ก์ด ์ฝํ ์ด ์ ์ฉ๋๊ธฐ ์ ์ ์ค๋๋ ์ฝํ ์ด ํํ์ ์ผ๋ก ์ ๊ฑฐ ๋ ๋ ์ฝ๋ฐํธ ์นจ์ถ์ ๊ฒฐ์ ํฉ๋๋ค.
HSS ๊ณต๊ตฌ์ TiN ์ฝํ | ์ฝํ ๋๊ป |
---|---|
๋จ์ผ ์ธก์ ํ๋ ๊ฐ | 3.53 |
3.62 | |
3.53 | |
3.48 | |
3.62 | |
3.54 | |
3.60 | |
3.49 | |
3.56 | |
3.61 | |
ํ๊ท (10 ํ ์ธก์ ) | 3.56 ยตm |
ํ์ค ํธ์ฐจ | 0.05 ยตm |
๊ณ์ f ๋ณ๋ | 1.47 % |