์์ค ๋ถ์ํ์ ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ์ฅ์์ฉ ํฌ๋กฌ ๋๊ธ์ผ๋ก ๋ง๊ฐ๋ฉ๋๋ค. ๊ทธ๋ฌ๋ ์๋ฅผ ๋ค์ด ๋จ๋จํ ๊ธ์ ์ค์ ํค๋์ฒ๋ผ ๋ณด์ผ ์์๋ ๊ฒ์ ์ข ์ข ํ๋ผ์คํฑ ๊ธฐํ ์์ ๋ค์ธต ๊ธ์ ์ฝํ ์ผ๋ฟ์ ๋๋ค. ์ค์ ํค๋๊ฐ ๋ฐฐ์ก ๋ ๋๋ฟ๋ง ์๋๋ผ ์๋ ๋์ ์ฌ์ฉํ ํ์๋ ์๋ฆ๋ต๊ฒ ๋ณด์ด๋๋กํ๋ ค๋ฉด ๊ฐ ์ธต์ ๋๊ป๋ฅผ ์กฐ์ ํ์ฌ ํ์ง์ ๋ณด์ฅํด์ผํฉ๋๋ค.
์ด๋ฌํ ์ค์ ํค๋์ ์ผ๋ฐ์ ์ธ ๊ตฌ์ฑ์ ํ๋ผ์คํฑ ๊ธฐํ ์ฌ๋ฃ ์์ ํฌ๋กฌ/๋์ผ/๊ตฌ๋ฆฌ ์ฝํ ์์คํ ์ ๋๋ค. ์ฅ์์ฉ ํฌ๋กฌ ์ธ๋ถ ๋ง๊ฐ์ ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ๋๊ป๊ฐ 0.5ยตm(๋๋ ๊ทธ ์ดํ)์ ๋ถ๊ณผํ๊ณ ๋์ผ ์ธต์ ์ฝ 5-10ยตm์ ๋๋ค. ๊ตฌ๋ฆฌ ์ธต์ด 20-25ยตm ์ฌ์ด์ด๋ฉด ์ ์ฒด ์ฝํ ๋๊ป๊ฐ 30ยตm ์ดํ๊ฐ๋๋ฉฐ, XRF(X-ray fluorescence) ๋ฐฉ๋ฒ์ ์ฌ์ฉํ ๋นํ๊ดด ์ธก์ ์ด ๊ฐ๋ฅํฉ๋๋ค.
์ด๋ฌํ ์ข ๋ฅ์ ์์ฉ ๋ถ์ผ์๋ ๋น๋ก ์นด์ดํฐ ํ๋ธ๊ฐ์๋ X-์ ํ๊ด ๊ธฐ๊ธฐ๊ฐ ์๋ฒฝํ๊ฒ ์ ํฉํฉ๋๋ค. ์์ ์ธก์ ์ง์ ์์๋ ๊ฒ์ถ๊ธฐ ์์ญ์ด ๋์ด ์ถฉ๋ถํ ๋์ ๊ณ์์จ์ ์ป์ ์์์ด ์ฐ์ํ ๋ฐ๋ณต ์ ๋ฐ๋๋ฅผ ๋ณด์ฅํฉ๋๋ค. ํฌ๊ณ ์ฝ๊ฒ ์ ๊ทผ ํ ์์๋ ์ธก์ ์ฑ๋ฒ๋ก ์ธํด FISCHERSCOPEยฎ X-RAY XDLยฎ ์ ํ๊ตฐ์ ๊ฒฌ๊ณ ํ ๊ธฐ๊ธฐ๋ ๋ณต์กํ ๋ชจ์์ ๋ํ ํ๋ณธ์ ์ ํฉํฉ๋๋ค.
๊ฒฐ๊ณผ์ ์ ๋ฐ๋๋ฅผ ๊ทน๋ํํ๋ ค๋ฉด ๋ณธ์ง์ ์ผ๋ก ์ํ ์์ญ์ ์ ํํ๊ฑฐ๋ ์ํ์ ์ฌ๋ฐ๋ฅด๊ฒ ์ ๋ ฌํ๋ ๋ฑ ๊ฐ์ฒด์ ์ ์ ํ ์์น ์ง์ ์ด ํ์์ ์ ๋๋ค. ์ด ์ค์ํ ๋จ๊ณ๋ฅผ ์ง์ํ๊ธฐ ์ํด FISCHERSCOPEยฎ X-RAY ์ธก์ ์์คํ ์๋ ํฌ์ง์ ๋ ๋ณด์กฐ ์ฅ์น ๋ฐ ๊ณ ๋ฐฐ์จ ์นด๋ฉ๋ผ ๊ดํ ์ฅ์น๋ก ๋ ์ด์ ํฌ์ธํฐ๊ฐ ์ฅ์ฐฉ๋์ด ์์ต๋๋ค. WinFTMยฎ ์ํํธ์จ์ด๋ก ์์ฑ ๋ ๋น๋์ค ์ด๋ฏธ์ง๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ฌ ์ธก์ ์ง์ ์ ํ์ํ ์ ํํ ์ด์ ์ ๋ง์ถ ์ ์์ต๋๋ค.
์ธก์ ์ง์ | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 |
---|---|---|---|---|---|
Cr ํ๊ท ๊ฐ | 0.17 | 0.17 | 0.17 | 0.17 | 0.16 |
ํ์ค ํธ์ฐจ | 0.003 | 0.005 | 0.005 | 0.004 | 0.005 |
Ni ํ๊ท ๊ฐ | 7.24 | 7.40 | 7.10 | 7.29 | 7.21 |
ํ์ค ํธ์ฐจ | 0.07 | 0.04 | 0.10 | 0.11 | 0.07 |
Cu ํ๊ท ๊ฐ | 21.40 | 21.90 | 22.10 | 20.10 | 20.60 |
ํ์ค ํธ์ฐจ | 0.25 | 0.39 | 0.29 | 0.29 | 0.26 |
์ต๋ ์ ์ฒด ์ฝํ ๋๊ป๊ฐ ์ฝ 30ยตm ์ธ ํ๋ผ์คํฑ ๊ธฐํ์ ์ฅ์์ฉ Cr/Ni/Cu ๋๊ธ ๋๊ป๋ฅผ ์ธก์ ํ๊ธฐ์ํ FISCHERSCOPEยฎ X-RAY XDLยฎ ์ ํ๊ตฐ์ ๋น์ฉ ํจ์จ์ ์ธ ๋น๋ก ์นด์ดํฐ ํ๋ธ ์ธก์ ์์คํ ์ต์ ์ ์๋ฃจ์ ์ ๋๋ค. ๋๊บผ์ด ์ฝํ ์ ์ธก์ ํ๊ธฐ ์ํด(ํ๊ดด์ ) ์ ๊ธฐ๋ ์ธก์ ๋ฒ์ ์ฌ์ฉํ๋ ๊ธฐ๊ธฐ๋ ๋์์ผ๋ก ์ฌ์ฉํ ์ ์์ต๋๋ค. ์์ธํ ์ ๋ณด๋ ์ง์ญ FISCHER ๋ด๋น์์๊ฒ ๋ฌธ์ํ์ญ์์ค.