์ ์ ์ ํ์์ ๋ฉ ์ฌ์ฉ์ ๋ํ ์ ํ์ด ์ฆ๊ฐํจ์ ๋ฐ๋ผ ์ ์ ํ ๋์ฒดํ์ ์ฐพ๊ธฐ ์ํด ๋ ธ๋ ฅํด ์์ต๋๋ค. ์ฒจ๋จ IC ํจํค์ง ์ฐ์ ์์, ์ด์ ์๋ ์ ๋น์ฟผํฐ์ค์์ง๋ง ์ํํ ๊ณต์ต SnPb ๋๋ฉ์ด ์ด์ ์ ์ฐจ์ ์ผ๋ก SnAgCu ํฉ๊ธ ๋๋ฉ๊ณผ ๊ฐ์ ๋ฌด์ฐ ๊ธฐ์ ๋ก ๋์ฒด๋๊ณ ์์ต๋๋ค. ์ด๋ฌํ ์๋ก์ด ํฉ๊ธ์ ๋ฉ๋ ์ฑ ๋ฐ ๊ธฐํ ๊ธฐ๊ณ์ ํน์ฑ์ ๋ณด์ฅํ๊ธฐ ์ํด ํน์ ๊ตฌ์ฑ์ด ํ์ํ๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ์ ํํ๊ฒ ์ธก์ ํด์ผํฉ๋๋ค.
Ag ๋ฐ Cu ํจ๋์ Sn ๊ธฐ๋ฐ ๋๋ฉ์ ๋ฉ๋์ฑ ๋ฐ ๊ธฐ๊ณ์ ํน์ฑ์ ํฐ ์ํฅ์ ๋ฏธ์น ์ ์๋ค๋ ๊ฒ์ ์ ์๋ ค์ ธ ์์ต๋๋ค. ์๋ฅผ ๋ค์ด, Ag ํจ๋์ด 3% ์ด์์ธ ๋๋ฉ์ ์ด ํผ๋ก ํ ์คํธ์์ ๋ ๋์ ์ฑ๋ฅ์ ๋ฐํํ๊ณ ์ ๋จ ์์ฑ ๋ณํ์ ๋ํ ๋ด์ฑ์ด ๋ ๊ฐํ ๋ฐ๋ฉด, Ag ํจ๋์ด ๋ฎ์ (์ฝ 1%) ํฉ๊ธ์ ์ฐ์ํ ์ฐ์ฑ์ ๋ํ๋ด๋ฏ๋ก ์ฌํ ๋ณํ์์ ๋ ๋์ ํผ๋ก ๋ด๊ตฌ์ฑ์ ๋ณด์ ๋๋ค. ๋ํ, ๋จ์ง 0.5%์ Cu๋ ๊ธฐํ Cu์ ์ฉํด ๊ฑฐ๋์ ๊ฐ์์์ผ ๋ฉ๋์ฑ์ ์ฆ๊ฐ์ํฌ ์ ์์ต๋๋ค.
์ด๊ฒ์ด IC ํจํค์ง ์ฐ์ ์ด ๋ฒ์ ์ ํ(๋ฌด์ฐ)๊ณผ ๊ธฐ์ ์๊ตฌ ์ฌํญ์ ๊น๋ค๋ก์ด ์กฐํฉ์ ์ถฉ์กฑํ๊ธฐ ์ํด ๋๋ฉ์ ๊ตฌ์ฑ์ ์ ํํ๊ณ ์ ํํ๊ฒ ๊ฒฐ์ ํด์ผํ๋ ์ด์ ์ ๋๋ค.
์์ ํฌ๊ธฐ์ ๋ฒํ(์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ์ง๊ฒฝ 80ฮผm)๋ก ์ธํด ๋๋ถ๋ถ์ ๋ถ์ ๋ฐฉ๋ฒ์ ์ฌ์ฉํ ์ ์์ต๋๋ค. ์์ ํก์(AA)์ ๊ฐ์ ๋ค๋ฅธ ๊ฒ๋ค์ ํ๊ดด์ ์ด๋ฏ๋ก ๊ฐ ๊ฐ๋ณ ๋ฒํ๋ฅผ ํ ์คํธํ๋ ๋ฐ ์ ํฉํ์ง ์์ต๋๋ค. ๊ทธ๋ฌ๋ X-์ ํ๊ด(XRF)์ ์ธ ๊ฐ์ง ์์ ๋ชจ๋์ ๋๋๋ฅผ ๋ชจ๋ํฐ๋งํ๋ ๋ฐ ์ด์์ ์ธ ์ ๊ทผ ๋ฐฉ์์ผ๋ก ์ ์ฆ๋์์ต๋๋ค. ํ 1์ SnAgCu ์๋ ๋ฒํ์ ์ผ๋ฐ์ ์ธ ์ธก์ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๋ณด์ฌ์ค๋๋ค.
ํด๋ฆฌ ๋ชจ์ธ๊ด ๊ดํ ์ฅ์น์ ์ค๋ฆฌ์ฝ ๋๋ฆฌํํธ ๊ฒ์ถ๊ธฐ(SDD)๊ฐ ์ฅ์ฐฉ๋ FISCHERSCOPEยฎ X-RAY XDVยฎ-ฮผ์ X-์ ๋น์ ์ฌ์ ํ ์์ฐ๋์ ์ ์งํ๋ฉด์ 20ฮผm์ ์์ ํฌ๊ธฐ๋ฅผ ์ธก์ ํ๋ ๋ฐ ์ง์คํ ์ ์์ต๋๋ค. ๋งค์ฐ ๋์ ์นด์ดํธ ์๋๋ก ๋ฐ์ด๋ ๋ฐ๋ณต์ฑ๊ณผ ์ ๋ฐ๋๋ฅผ ๋ณด์ฅํฉ๋๋ค.
๋ฉ์ด ์๋ ๊ธฐ์ ์ ๊ฒ์ฆํ๋ ๊ฒ๋ฟ๋ง ์๋๋ผ ๋ฉ๋ ๋ฒํ์ ๊ตฌ์ฑ์ ์ ํํ๊ฒ ๊ฒฐ์ ํ๋ ๊ฒ์ด ์ค์ํ๋ค๋ฉด ์ธก์ ์ง์ ์ด ๋งค์ฐ ์์ FISCHERSCOPEยฎ X-RAY XDV-ยตยฎ๊ฐ ์ด์์ ์ธ ๊ณ์ธก๊ธฐ์ ๋๋ค. ์์ธํ ์ ๋ณด๋ ์ง์ญ FISCHER ๋ด๋น์์๊ฒ ๋ฌธ์ํ์ญ์์ค.