์๋์ฐจ ์ค๋ฆฐ๋๋ ๊ทน๋์ ๊ธฐ๊ณ์ ๋ง๋ชจ๋ฅผ ๊ฒช์ต๋๋ค. ์๋ฃจ๋ฏธ๋ ์ค๋ฆฐ๋๋ฅผ ๋ณดํธํ๋ ๋ฐฉ๋ฒ์ ์ค๋ฆฐ๋ ๋ถํ์ ๋ง์ฐฐ ํน์ฑ์ ๊ฐ์ ํ๊ณ ์ด ์ ๋ฌ์ ์ต์ ํํ๋ ๋ฐ ์ฌ์ฉ๋๋ ํ๋ ์ฝํ ๊ธฐ์ ์ธ Nikasilยฎ๋ก ์ ์ด๋ฉด์ ๋๊ธํ๋ ๊ฒ์ ๋๋ค. ํ๋ฆฌ๋ฏธ์ ์๋์ฐจ ๋ธ๋๋์ ๊ณ ๊ธ ์์ง ๋ถํ ๋ฐ ๋ชจํฐ ์คํฌ์ธ ์ ์์ฃผ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค.
Nikasilยฎ (๋ ์ผ์ด์์ Nickel-Carbide-Silicon โ Nickel-Karbid-Silizium)์ ํํ ๊ท์ ์ ์๊ฐ ๋ด์ฅ ๋ ์ ๊ธฐ ๋๊ธ ๋์ผ ๋งคํธ๋ฆญ์ค์ ๋๋ค. ๋๋ผ์ด ๋ง์ฐฐ ํน์ฑ์ผ๋ก ์ธํด Nikasilยฎ์ ํผ์คํค๊ณผ ๋ง์ ์ด์์ ์ธ ์ ์ด๋ฉด์ด๋ฉ๋๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ์์ง ๋ธ๋ก ๋ด ๋ง์ฐฐ์ ์ต์ํํ๊ธฐ ์ํด ๊ณ ๊ธ ์์ง ๋ถํ์ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค. Nikasilยฎ ์ฝํ ์ 2 ํ์ ๋ฐ 4 ํ์ ์๋ฃจ๋ฏธ๋ ์ค๋ฆฐ๋ ๋ฒฝ ๋๋ ์ฌ๋ฆฌ๋ธ์ ์ ํฉํ๋ฉฐ ํด๋์ ์๋์ฐจ์์ ์ต์ Formula 1 ์ฐจ๋์ ์ด๋ฅด๋ ๋ค์ํ ์๋์ฐจ ์์ง์ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค.
์ค์ ์ฌ์ฉ์ ์ค๋ฆฐ๋ ๋ฒฝ ๋๋ ์ฌ๋ฆฌ๋ธ๋ ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ๋๊ป๊ฐ 80 ~ 180 ยตm ์ธNikasilยฎ์ธต์ผ๋ก ์ ๊ธฐ ๋๊ธ๋ฉ๋๋ค. ๊ทธ ํ, ์ฝํ ๋๊ป๋ ๋ง์ถคํ์ผ๋ก ๊ตฌ์ฑ๋ ํ์์ฉ FISCHERSCOPEยฎ MMSยฎ PC2๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ฌ ์ ์ด๋๋ฉฐ, NICKELSCOPEยฎ ๋ชจ๋๊ณผ ํ๋ก๋ธ ENW3์ด ์ถ๊ฐ๋ก ์ฅ์ฐฉ๋ฉ๋๋ค. ์ ๋ฐ์ ์ผ๋ก์ด ํน์ ๊ธฐ๊ธฐ๋ ์๊ธฐ ์ธก์ ๋ฐฉ๋ฒ(ํ ํจ๊ณผ)์ ์ฌ์ฉํฉ๋๋ค.
๋ค์ ๋จ๊ณ์์๋ ์ค๋ฆฐ๋ ๋ฐฐ๋ด์ ๋ฐ๋ง ๋ฐ ์ฐ๋งํ์ฌ ์ฌ๋ผ์ด๋ฉ ํน์ฑ์ ๊ฐ์ ํฉ๋๋ค. 25 ~ 50 ยตm ๋ฒ์์ ์ต์ข ์ฝํ ๋๊ป๊ฐ ๋ชฉํ์ด๋ฉฐ, ์ธก์ ์ ์ฐจ์์ ๋งค์ฐ ์ข์ ๊ณต์ฐจ๋ฅผ ์ถฉ์กฑํด์ผํฉ๋๋ค.
ENW3 ํ๋ก๋ธ๋ ์ธก์ ์์คํ ์ ์ค์ฌ์ด๋ฉฐ ์ ๊ธฐ ๋๊ธ ๊ณต์ ๊ณผ ํธ๋ ํ ๋ชจ๋ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค. ๊ฐ์ง ํํ๋ ์ฌ์ฉ์๊ฐ ์ ๊ทผํ๊ธฐ ์ด๋ ค์ด ์ฅ์์๋ ์ ๊ทผ ํ ์ ์๋๋ก ๋์์ค๋๋ค.
์ค๋ฆฐ๋ ๋ฐฐ๋ด ๋๋ ์ฌ๋ฆฌ๋ธ ๋ด๋ถ ์ธก์ ๋ ์๋ํ ํ ์ ์์ต๋๋ค. ์ด๋ฅผ ์ํด FISCHERSCOPEยฎ MMSยฎ PC2์ ๋์งํธ I/O ๋ชจ๋์ ์ฅ์ฐฉํ์ฌ ํ ๋ฒ์ ์ต๋ 6 ๊ฐ์ ํ๋ก๋ธ๋ฅผ ์ ์ด ํ ์ ์์ต๋๋ค. ์ธก์ ๊ฐ์ด ์์ง๋๊ณ ๋์์ ๊ธฐ๊ธฐ๋ก ์ ์ก๋๋ฏ๋ก ์คํ์ค์ธ ์์ฐ ๋ผ์ธ์์ ํ์ง ๊ด๋ฆฌ๋ฅผ ์ํด ๊ณ ์ฃผํ๋ก ์ฌ๋ฌ ์ธก์ ์ ์ํ ํ ์ ์์ต๋๋ค.
NICKELSCOPEยฎ ๋ชจ๋ ๋ฐ ENW3 ํ๋ก๋ธ๊ฐ ์ฅ์ฐฉ ๋ FISCHERSCOPEยฎ MMSยฎ PC2๋ Nikasilยฎ ์ฝํ ์ ์ ํํ ๋๊ป ์ธก์ ์ ์ํดNikasilยฎ์ ์ ๋ฌธ์ ์ธ ํ์ง ๋ชจ๋ํฐ๋ง์์ํ ์๋ฒฝํ ์ ํ์ ๋๋ค.์ฌ๋ฌ ํ๋ก๋ธ๋ฅผ ์ฌ์ฉํ ์๋ ์ธก์ ๋ ๊ฐ๋ฅํฉ๋๋ค. ์์ธํ ๋ด์ฉ์ FISCHER ๋ด๋น์์๊ฒ ๋ฌธ์ํ์ญ์์ค.