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๋ฆฌ๋“œ ํ”„๋ ˆ์ž„์—์„œ Au / Pd ์ฝ”ํŒ… ์ธก์ •์˜ ๋†’์€ ๋ฐ˜๋ณต ์ •๋ฐ€๋„ ๋ฐ ์ •ํ™•์„ฑ

์ „์ž ์‚ฐ์—…์ด ์ ์  ๋” ์–‡์€ ์ฝ”ํŒ…์„ ์‚ฌ์šฉํ•จ์— ๋”ฐ๋ผ ์ œ์กฐ์—…์ฒด๋Š” ์ œํ’ˆ ๋ชจ๋‹ˆํ„ฐ๋ง ๋ฐ ์ œ์–ด๋ฅผ ์œ„ํ•œ ์‹ ๋ขฐํ•  ์ˆ˜์žˆ๋Š” ๋งค๊ฐœ ๋ณ€์ˆ˜๋ฅผ ์ œ๊ณตํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•ด ์ธก์ • ๊ธฐ์ˆ ์— ๋Œ€ํ•œ ์š”๊ตฌ๋ฅผ ์ฆ๊ฐ€์‹œํ‚ต๋‹ˆ๋‹ค. ์ฝ”ํŒ… ์‹œ์Šคํ…œ Au/Pd/Ni๋Š” ๊ธฐํŒ ์žฌ๋ฃŒ๋กœ CuFe2(CDA 195)๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•˜์—ฌ ๋ฆฌ๋“œ ํ”„๋ ˆ์ž„์˜ ์ „๊ธฐ ๋„๊ธˆ์— ์ž์ฃผ ์‚ฌ์šฉ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ผ๋ฐ˜์ ์ธ ์ฝ”ํŒ… ๋‘๊ป˜๋Š” 3-10 nm Au์™€ 10-100 nm Pd ์‚ฌ์ด์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ์ด๋Ÿฌํ•œ ์ฝ”ํŒ… ์‹œ์Šคํ…œ์˜ ํ’ˆ์งˆ์„ ๋ชจ๋‹ˆํ„ฐ๋งํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•ด X-์„  ํ˜•๊ด‘ ๊ธฐ๊ธฐ๊ฐ€ ์„ ํƒ ์ธก์ • ๋ฐฉ๋ฒ•์œผ๋กœ ์ž๋ฆฌ ๋งค๊น€ํ–ˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

๋‹ค๋ฅธ ๋ฌผ๋ฆฌ์  ์ธก์ • ๋ฐฉ๋ฒ•์„ ์‚ฌ์šฉํ•˜๋Š” ์ผ๋ จ์˜ ๋น„๊ต ํ…Œ์ŠคํŠธ๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•˜์—ฌ ์–ธ๊ธ‰๋œ ๋ฒ”์œ„ ๋‚ด์—์„œ X-์„  ํ˜•๊ด‘ ๊ธฐ๊ธฐ์˜ ๊ธฐ๋Šฅ์„ ๊ฒฐ์ •ํ–ˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ƒ˜ํ”Œ ํ‘œ๋ณธ์€ FISCHERSCOPE X-RAY XDV-SDD ๋ชจ๋ธ, Rutherford ํ›„๋ฐฉ ์‚ฐ๋ž€ ๋ฐ ์ ˆ๋Œ€ ์‹ฑํฌ๋กœํŠธ๋ก  ๋ฐฉ์‚ฌ์„  ๊ธฐ๋ฐ˜ X-์„ ์„ ์‚ฌ์šฉํ•˜์—ฌ X-์„  ํ˜•๊ด‘ ๋ฐฉ๋ฒ•์œผ๋กœ ์ธก์ •๋˜์—ˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

Au ์ฝ”ํŒ… ๋‘๊ป˜๊ฐ€ ์•ฝ 4, 6 ๋ฐ 9nm ์ธ ๊ฒฝ์šฐ X-์„  ํ˜•๊ด‘ ๊ธฐ๊ธฐ์˜ ๊ฒฐ๊ณผ๋Š” ๋ชจ๋‘ ๋‹ค๋ฅธ ๋‘ ๊ฐ€์ง€ ๋ฐฉ๋ฒ• ์‚ฌ์ด์— ์žˆ์—ˆ์œผ๋ฉฐ sub-nm ๋ฒ”์œ„์˜ ํŽธ์ฐจ๊ฐ€ ์žˆ์–ด ๋‚ฎ์€ ์‚ฐ๋ž€๋ฟ๋งŒ ์•„๋‹ˆ๋ผ X-์„  ํ˜•๊ด‘ ๊ธฐ๊ธฐ๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•œ ์ธก์ •์˜ ์ง„์‹ค์„ฑ. ์ธก์ • ๊ฒฐ๊ณผ์˜ ์ถ”์  ์„ฑ์€์ด ์ธก์ • ์–ดํ”Œ๋ฆฌ์ผ€์ด์…˜์„ ์œ„ํ•ด ํŠน๋ณ„ํžˆ ๊ฐœ๋ฐœ๋œ FISCHER ๊ต์ • ํ‘œ์ค€์„ ์‚ฌ์šฉํ•˜์—ฌ ๋ณด์žฅ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. X ์„  ํ˜•๊ด‘ ๊ธฐ๊ธฐ์˜ ๊ฐ„๋‹จํ•œ ์ทจ๊ธ‰์€ ๋˜ํ•œ ํ•„์š”ํ•œ ๊ฒฝ์šฐ ์ฝ”ํŒ… ๋‘๊ป˜์˜ ๊ท ์งˆ์„ฑ์„ ๊ฒฐ์ •ํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•ด ์‹œํŽธ์„ ์‰ฝ๊ฒŒ ์Šค์บ” ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๊ฒŒํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค (๊ทธ๋ฆผ 2 ์ฐธ์กฐ).

์ตœ์‹  ๊ฒ€์ถœ๊ธฐ ๊ธฐ์ˆ ๊ณผ ๊ฐ•๋ ฅํ•œ ๋ถ„์„ ์†Œํ”„ํŠธ์›จ์–ด์ธ WinFTMยฎ์˜ ๊ฒฐํ•ฉ์œผ๋กœ 10nm ๋ฏธ๋งŒ์˜ ๋ฒ”์œ„์—์„œ๋„ ์ฝ”ํŒ… ๋‘๊ป˜๋ฅผ ์•ˆ์ •์ ์ด๊ณ  ์ •ํ™•ํ•˜๊ฒŒ ์ธก์ •ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๋ฆฌ๋“œ ํ”„๋ ˆ์ž„์— ์‚ฌ์šฉํ•˜๋Š” ๊ฒฝ์šฐ ๋น„๊ต์  ๋ณดํ†ต ํฌ๊ธฐ์˜ ํ‘œ๋ณธ์— FISCHERSCOPEยฎ X-RAY XDVยฎ-SDD ๊ธฐ๊ธฐ๋ฅผ ๊ถŒ์žฅํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๋งค์šฐ ์ž‘์€ ๊ตฌ์กฐ๋ฌผ์˜ ๊ฒฝ์šฐ ํŠน์ˆ˜ X-์„  ๊ด‘ํ•™ ์žฅ์น˜๊ฐ€์žˆ๋Š” XDVยฎ-ยต ๋ชจ๋ธ์€ ํ‘œ๋ณธ์—์„œ 20ยตm์˜ ๋งค์šฐ ์ž‘์€ ์ธก์ • ์ง€์ ์„ ๋ณด์žฅํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

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